光产酸剂是化学增幅型光致抗蚀剂的关键组分，具有较高的光解量子效率和产酸效率，能很大的提高体系的成像感度。从分子结构上来分，光产酸剂大体上可以划分为离子型和非离子型两大类。硫鎓盐是一种离子型光产酸剂。对于硫鎓盐，通过改变硫上的不同取代基可以使其最大吸收波长发生红移或者蓝移。本论文合成了几种硫鎓盐类光产酸剂，以苯乙酮，萘乙酮，带甲氧基的萘乙酮为原料，直接和溴化铜发生取代反应，再和四氢噻吩进一步生成硫鎓盐；以蒽，蒽酮，蒽醇，2,7-二甲氧基萘为原料，进行付氏酰基化反应，再利用溴化铜进行取代，然后和四氢噻吩反应生成硫鎓盐。并对其合成方法和性质进行了初步的探索，尝试将之应用于i-线光刻胶。 通过紫外表征，由蒽和带甲氧基的萘合成的硫鎓盐在i-线的吸收较其他几种硫鎓盐要强，且具有一定的光漂白性。拥有很大的应用价值。