| 中文题名： | 多阴极金属蒸汽真空弧离子源的设计和研究 |
| 姓名： | |
| 保密级别： | 公开 |
| 学科代码： | 070203 |
| 学科专业： | |
| 学生类型： | 硕士 |
| 学位年度： | 1990 |
| 学校： | 北京师范大学 |
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| 学院： | |
| 研究方向： | 小型加速器 |
| 第一导师姓名： | |
| 提交日期： | 1990-05-01 |
| 答辩日期： | 1990-05-01 |
| 中文摘要： |
金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子源，是一种新型的金属强流离 子源，它利用电极间的真空弧放电原理，在阴极表面直接形成阴极 材料的等离子体。经多孔三电极系统引出，得到强流金属离子束， 这种离子源特别适合于金属材料表面改性的应用。 我们设计了一个多阴极的MEVVA离子源，这个源共有18 个阴极，任一阴极都能在真空状态下被迅速接通工作，在脉冲工作 方式理，我们引出了Ti、Cr、Nb、Ni、Al和cu等元素的 离子，用30Kv的引出电压引出，平均束流超过10mA，引出 束流与阴极材料，弧流及引出电压有关，我们测量了
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| 外文摘要： |
Metal vapor vacuum arc(MEVVA)ion source is a new kind of one which uses a metal vapor vacuum arc discharge between electrodes as the plasma medium of cathode material on the surface of the cathode idrect from which high current metal ions beam is extracte
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| 参考文献总数： | 0 |
| 馆藏号： | 硕070203/871 |
| 开放日期： | 2016-01-01 |
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