| 中文题名： | 先进离子束技术制备薄膜及其应用 |
| 姓名： | |
| 保密级别： | 公开 |
| 学科代码： | 070205 |
| 学科专业： | |
| 学生类型： | 博士 |
| 学位： | 理学博士 |
| 学位年度： | 2001 |
| 学校： | 北京师范大学 |
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| 研究方向： | 凝聚态物理 |
| 第一导师姓名： | |
| 第一导师单位： | |
| 提交日期： | 2006-09-25 |
| 答辩日期： | 2001-05-12 |
| 中文关键词： | |
| 中文摘要： |
本文采用磁过滤真空弧离子束沉积技术在多种衬底材料表面（单晶硅，不锈钢，工具钢，玻璃，石英，有机玻璃和树脂）的表面沉积非晶金刚石薄膜，并采用扫描电镜，x射线光电子能谱测定了薄膜的微观组织结构，采用电化学腐蚀方法和SRV磨损试验方法测定了薄膜的耐腐蚀和耐磨损性能。试验结果表明： 在多种衬底材料上都可以获得非晶金刚石薄膜，X射线光电子能谱分析结果表明薄膜的sp3键含量可以达到85%，沉积沉积负偏压对薄膜的sp3键含量的影响为随负偏压的增加而先增加，达到100V后，再增加负偏压，薄膜中的sp3键含量反而下降。 显
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| 外文摘要： |
Tetrahedral amorphous carbon films were obtained on several substrates (Si,stainless steel,high-speed steel,glass,quartz and resign) at room temperature in pulsed filtered cathodic vacuum arc system.The structure of the tetrahedral amorphous carbon films
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| 参考文献总数： | 58 |
| 馆藏地： | 图书馆学位论文阅览区（主馆南区三层BC区） |
| 馆藏号： | 博070205/9905 |
| 开放日期： | 2006-09-25 |
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