| 中文题名： | Multi-mode SPM纳米划痕功能开发 |
| 姓名： | |
| 保密级别： | 公开 |
| 学科代码： | 070201 |
| 学科专业： | |
| 学生类型： | 学士 |
| 学位： | 理学学士 |
| 学位年度： | 2012 |
| 学校： | 北京师范大学 |
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| 第一导师姓名： | |
| 第一导师单位： | |
| 提交日期： | 2012-05-30 |
| 答辩日期： | 2012-05-30 |
| 外文题名： | Development of the Nanoscale Scratching Function of Multi-Mode SPM |
| 中文关键词： | |
| 中文摘要： |
本文介绍了几种基于扫描探针显微镜（SPM）的纳米加工技术的工作原理，重点对原子力显微镜（AFM）的工作原理及纳米划痕功能进行了阐述。同时，利用脉冲激光沉积（PLD）技术在SrTiO3基片上镀制了掺Nb的TiO2薄膜，并通过AFM划痕功能在样品表面刻蚀得到了预期图案，为进一步利用AFM划痕功能制作纳米级器件奠定基础。
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| 外文摘要： |
The mechanisms of several kinds of nanofabrication technology based on scanning probe microscope (SPM) were introduced, with emphasis on the operating principle of atomic force microscope (AFM) and its nanoscale scratching function. In addition, the Nb doped (5%) anatase TiO2 (Nb:TiO2) thin films were prepared by pulsed laser deposition (PLD) on the SrTiO3(100) substrate. By making use of the nanoscale scratching function of AFM, the expected patterns were obtained on the surface of the Nb:TiO2 samples, indicating potential applications for the fabrication of the nanoscale devices by using AFM.
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| 馆藏号： | 本070201/1241 |
| 开放日期： | 2012-05-30 |
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